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硅片真空退火爐

硅片真空退火爐

硅片真空退火爐

硅片真空退火爐

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設備概述

硅片真空退火爐是專為半導體硅片設計的精密熱處理設備，通過高真空無氧環境消除硅片內應力、修復晶格缺陷，并調控載流子壽命。該設備是集成電路制造、功率器件生產、光伏電池制備的關鍵工藝裝備

產品特點

1.零金屬污染：全石英熱區+真空環境
2.氣氛控制：可選H?/N?/Ar氣氛，氫退火可鈍化界面態
3.冷卻系統：梯度冷卻（0.1-10℃/min）抑制滑移位錯
4.多區控溫：多區獨立控溫，最高溫度1200℃

爐管尺寸（Φ*L）	最高溫度	加熱元件	極限真空度	爐管材質
Φ60800-Φ300800mm可選	1200℃	電阻絲	6.7*10^-4pa	高純石英管

圖片名稱

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