高端元器零件
高端元器零件是電子裝備的“工業基石”，聚焦高精度、微型化、長壽命三大方向，包括光刻機鏡頭、MEMS慣性傳感器、高純濺射靶材等。技術突破點納米級制造，EUV光刻機采用多層膜反射鏡，面形精度達0.1納米；應用覆蓋5G基站（射頻濾波器）、醫療設備（MEMS人工耳蝸）及國防（相控陣雷達TR組件）。
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