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高端元器零件是電子裝備的“工業基石”,聚焦高精度、微型化、長壽命三大方向,包括光刻機鏡頭、MEMS慣性傳感器、高純濺射靶材等。技術突破點納米級制造,EUV光刻機采用多層膜反射鏡,面形精度達0.1納米;應用覆蓋5G基站(射頻濾波器)、醫療設備(MEMS人工耳蝸)及國防(相控陣雷達TR組件)。
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