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CVD回轉爐

CVD回轉爐
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  • CVD回轉爐

設備概述

CVD回轉爐是一種通過氣相化學反應在粉體或基材表面沉積涂層的高溫設備，結合旋轉動態加熱與精確氣氛控制，廣泛應用于新能源、半導體、粉末冶金等領域的高性能材料制備

產品特點

1.傾斜式旋轉爐管（不銹鋼/石英/剛玉），動態燒結，物料反應均勻
2.電加熱方式（電阻絲/硅碳棒），多溫區設計，控溫更精準
3.靈活氣氛控制（如：氮氣、硅烷、乙炔等），適應不同材料需求
4.模塊智能化，爐管內部微正壓，設有機械泄壓閥，安全系數高

 

最高溫度

控溫精度

加熱元件

爐管轉速

生產方式

1400℃

±1℃

電阻絲/硅碳棒

0.5-8rpm可調

實驗/間歇式
圖片名稱
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